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洁净车间在使用臭氧消毒时因为臭氧的三氧原子极其不稳定，这同时也决定了臭氧的氧化能力和杀菌能力都十分的强。臭氧作为一种高效的灭菌剂。通常情况下臭氧的半衰期都在二十分钟左右，臭氧在氧化消毒以后，其它多余的氧原子会在三十分钟左右有何空气中的氧气作用形成氧分子，而且不会产生任何的毒留残物，解决了灭菌以后的二次污染问题。也帮助增加了室内空气中氧的含量。

其具有非常强劲的除霉、除臭、除腥等有机物的异味性能。臭氧帮助改善了洁净车间内部空气环境的品质。当臭氧在空气中的含量超过一定范围时，对病菌病毒等微生物的内部结构都有很强的氧化破坏性。臭氧在一定的浓度下，且在相对封闭的环境中，扩散的十分的均匀迅速。仅仅只要短短的一个小时就可以把车间的细菌杀灭，同时还可以克服紫外线灭菌中会忽略很多死角的问题，从真正意义上做到全方位无死角的杀菌消毒。

通过把臭氧通入空调系统进行循环消毒，可以减少洁净车间空气中的悬浮的颗粒，从而提高空气的洁净度，进一步的能够延长净化设备使用寿命。从能够降低运行成本来言，目前没有任何一种消毒方法能够和臭氧消毒相提并论的。